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Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層
更新：2020-3-25 11:34:31點擊：
- 產(chǎn)品品牌抗耐牌
- 產(chǎn)品型號Cr2O3
產(chǎn)品介紹
在所有礦物和氧化物中，Cr2O3 是硬度較高的材料之一.它具有極好的化學(xué)穩(wěn)定性、抗高溫性能、摩擦系數(shù)小等特點，可作為微電子器件的阻擋層和磨損器件的Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層，以前研究結(jié)果表明，Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層薄膜耐磨性能好、摩擦系數(shù)低4,但硬度低于Cr2O3塊體.
最近幾年, Bhushan等利用濺射法制備200 nm厚的缺氧Cr2O3薄膜，其硬度值最高為29.5 GPa. Phones等利用濺射法制備出2μm左右厚的Cr2O3薄膜，其硬度值最高達到32GPa.但是，所得薄膜多呈非晶結(jié)構(gòu)，熱處理后，部分Cr2O3膜晶化.
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